SM200 Series 1 페이지

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Manufacturing
Manufacturing SM200 Series

SM200 Series

Wafer size : 4, 6, 8inch

Standalone Single Block IN-Line System Dual Block IN-Line System
  • · Process
  • - Local Coat, DEV, PIQ, SOG
  • · Process
  • - I-Line, DUV Process
  • · 4 Spin unit
  • · Process
  • - I-Line, DUV Process
  • · 8 Spin unit

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