SM300 HVC 1 페이지

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Manufacturing
Manufacturing SM300 HVC

SM300 HVC

High Viscosity Coater
(고점도 전용 Coater)

Wafer size : 12inch

New Design Short PR Line Wafer warpage 대응
  • · 4 Coater unit을 하부에 위치
  • · Oven Unit을 상부에 위치
  • · Coater unit 하부에 Bottle & Pump위치
  • (고점도 PR dispense 유리)
  • · Wafer warpage 대응

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